技術參數
X軸(驅動部)
測量範圍:25mm(SJ-401),50mm(SJ-402)
測量速度:0.05、0.1、0.5、1.0mm/s
返回速度:0.5、1.0、2.0mm/s
移動方向:向後
直線度:0.3μm / 25mm(SJ-401),
0.5μm / ...
技術參數
X軸(驅動部)
測量範圍:25mm(SJ-401),50mm(SJ-402)
測量速度:0.05、0.1、0.5、1.0mm/s
返回速度:0.5、1.0、2.0mm/s
移動方向:向後
直線度:0.3μm / 25mm(SJ-401),
0.5μm / 50mm(SJ-402)
定位:±1.5°(傾角),10mm(向上/向下)
檢測器
範圍/解析度:800μm / 0.01μm,80μm / 0.001μm,
8μm / 0.0001μm(使用測頭選件時,
最大可達2400μm)
檢測方法:無軌/有軌測量
測力:4mN或0.75mN(低測力型)
測針針尖:金剛石、90º / 5μmR
(60º / 2μmR:低測力型)
導頭曲率半徑:40mm
檢測方法:差動電感式
電源:通過AC適配器/可充電鎳氫電池
電池壽命:可多次測量600次(不帶打印)
充電時間:15個小時
數據輸出 通過RS-232C端口/SPC輸出
尺寸(WxDxH)
控制器:307 x 165 x 94mm
高度- 傾角調整裝置:131 x 63 x 99mm
驅動部:128 x 36 x 47mm(SJ-401),
155 x 36 x 47mm(SJ-402)
重量
控制器:大約1.2kg
高度- 傾角調整裝置:大約0.4kg
驅動部:0.6kg(SJ-401),0.7kg(SJ-402)
























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