技術參數
X軸（驅動部）
測量範圍：25mm（SJ-401），50mm（SJ-402）
測量速度：0.05、0.1、0.5、1.0mm/s
返回速度：0.5、1.0、2.0mm/s
移動方向：向後
直線度：0.3μm / 25mm（SJ-401），
0.5μm / 50mm（SJ-402）
定位：±1.5°（傾角），10mm（向上／向下）
檢測器
範圍／解析度：800μm / 0.01μm，80μm / 0.001μm，
8μm / 0.0001μm（使用測頭選件時，
最大可達2400μm）
檢測方法：無軌／有軌測量
測力：4mN或0.75mN（低測力型）
測針針尖：金剛石、90º / 5μmR
（60º / 2μmR：低測力型）
導頭曲率半徑：40mm
檢測方法：差動電感式
電源：通過AC適配器／可充電鎳氫電池
電池壽命：可多次測量600次（不帶打印）
充電時間：15個小時
數據輸出 通過RS-232C端口／SPC輸出
尺寸(WxDxH)
控制器：307 x 165 x 94mm
高度- 傾角調整裝置：131 x 63 x 99mm
驅動部：128 x 36 x 47mm（SJ-401），
155 x 36 x 47mm（SJ-402）
重量
控制器：大約1.2kg
高度- 傾角調整裝置：大約0.4kg
驅動部：0.6kg（SJ-401），0.7kg（SJ-402）